北電檢測在半導體碳基市場成功中标自動光學晶圓圖形缺陷檢測設備

近日，北電檢測憑借卓越的技術實力和優質的服務方案，在半導體碳基市場領域成功中标自動光學晶圓圖形缺陷檢測設備。此次中标不僅标志着北電檢測在技術研發與産品創新上的又一次飛躍，也是業界對北電檢測技術實力與産品可靠性的高度認可。

半導體碳基技術是指以碳納米材料(如碳納米管、石墨烯等)爲核心載體，替代傳統矽基材料構建新型半導體器件的尖端技術。該技術有望突破矽基器件在5nm以下工藝節點的物理極限，爲後摩爾時代的高性能計算、柔性電子和量子器件提供颠覆性解決方案。本次中标的半導體自動光學晶圓圖形缺陷檢測設備采用高精度光學成像與智能算法技術，集成了碳基襯底無圖案暗場和有圖案缺陷檢測系統，檢測精度可達0.15μm，可實現對無圖案表面、光刻後表層、刻蝕後表層的缺陷檢測，是碳基薄膜電子器件研發的關鍵質量保障設備。

設備的中标進一步彰顯了北電檢測在半導體量檢測領域的核心競争力。北電檢測将始終堅持以技術創新爲發展驅動，聚焦客戶需求，不斷探索前沿技術，專注爲客戶提供更全面的缺陷檢測解決方案，持續爲智能裝備産業高質量發展貢獻力量。